国产替代加速 半导体设备景气高
■本报记者 林珂
虽然当前半导体行业仍处于周期下行阶段，但结构性机会依然存在。受美国制裁影响，半导体设备类自主可控势在必行。有行业人士指出，今年晶圆厂存储厂保持有序扩产，国产化进展仍在加速，未来3年国产化仍然是行业最强主线之一，国产晶圆厂的逆周期扩产叠加国产化份额持续提升，将带动半导体设备行业持续景气。
消息面上，5月23日，日本公布《根据出口贸易管理令附表一和外汇令附表的规定确定货物或技术的省令》修正版，明确将23个具体品类的尖端半导体制造设备列入出口管理限制对象名单。光大证券分析师杨绍辉表示，该项限制时间落地后，中国的半导体设备国产化空间进一步打开，涂胶显影、刻蚀和清洗设备等日本企业市场份额较高的设备类别，将迎来较好的国产化时间窗口，晶圆厂验证、国产设备导入的节奏有望加快。
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广发证券分析师许兴军表示，2023年1-4月，统计样本中的晶圆产线合计中标120台设备，以刻蚀、量测、炉管设备居多，国产设备整体中标比例约48%。其中，沉积、CVD、PECVD、外延、检测、气液系统设备的国产中标比例较高。而国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司，如北方华创（002371）、芯源微、拓荆科技、中科飞测、中微公司、华海清科、盛美上海、华峰测控、长川科技（300604）、微导纳米、至纯科技（603690）、万业企业（600641）等。
北方华创
业绩高增有保障
北方华创专业从事半导体装备、真空装备及精密电子元器件等业务，其中半导体设备覆盖刻蚀、薄膜沉积、氧化扩散、清洗设备等领域，成功供货中芯国际、长江存储、华虹集团、武汉新芯等龙头客户。受益于内资晶圆厂大规模扩产、设备国产替代，公司业绩加速增长。
东吴证券表示，随着2023年二季度招标陆续启动，国产半导体设备公司订单有望快速兑现。此外，半导体景气复苏同样利好设备，中国大陆IC设计龙头库存水位开始下降，行业底部信号清晰。截至2023年一季度末，公司存货和合同负债分别达到150.12亿元、78.22亿元，同比分别增长55%、54%，验证在手订单充足，将保障业绩延续高增。整体来看，作为国产半导体设备领军者，公司持续受益设备国产替代+产品线延展。
拓荆科技(688072)
产品线不断扩充
拓荆科技近两年业绩保持快速增长态势。2022年公司新签订单43.62亿元，同比增长95.36%，为后续业绩增长奠定基础。公司保持较高水平的研发投入，研发投入金额达到 3.79 亿元，同比增加31.37%，研发投入占比达22.21%。
东北证券表示，公司基于原有的产品体系，不断推出新产品，并取得突破性进展：紫外线固化设备、HDPCVD 设备通过验证并实现销售收入；PE-ALD 设备验证顺利，Thermal-ALD 研发成功并送样；晶圆对晶圆键合产品送样并取得突破性进展，芯片对晶圆键合表面预处理产品研发成功并送样。公司产品线不断扩充，有望实现“卡脖子”环节的突破，推动半导体设备国产化进程，打开公司业绩增长空间。
中微公司(688012)
市场份额显著提升
中微公司前道刻蚀设备市占率 持 续 提 升 ，MOCVD 设 备 在Mini-LED 中快速放量。在手订单方面，公司 2023 年 3 月末合同负债由 2022 年 12 月末的 21.95 亿元增长至23.20亿元，在手订单充沛将支撑公司未来业绩持续高增长。
天风证券（601162），半导体设备国产化浪潮开启，以公司为代表的国内半导体设备厂商的份额显著提升。公司CCP设备和ICP设备正快速突破，在逻辑产线中，公司基本实现刻蚀工艺全覆盖。同时，公司研发能力较强，且持续保持高强度研发投入进行核心技术创新，在存储和刻蚀产线设备国产化过程中，公司相关设备将提供重要助力。整体而言，全球半导体设备市场持续高景气，公司将显著受益于刻蚀设备需求增长。
芯源微(688037)
在手订单快速增长
芯源微营收与利润保持快速增长，其中2023年一季度实现收入2.9亿元，同比增长56.9%；实现归母净利润0.7亿元，同比增长103.5%。一季度毛利率为 45.3%，同比提升6.6%，净利率为 22.9%，同比提升5.2%。目前公司可实现ArF、KrF、I-line和Offline设备配套式供应，未来有望凭借工艺突破持续放量，在手订单将保持快速增长，公司产品结构将向高端持续升级。
西南证券认为，公司前道物理清洗剂具备高产能、高颗粒去除能力，下游广泛应用于中芯国际、上海华力、青岛芯恩等一线晶 圆 厂 中 ，成 为 国 内 晶 圆 厂baseline 产品。此外，公司单片化学清洗设备研发正稳步推进中，未来有望凭借清洗业务打开第二成长曲线。
中科飞测(688361)
可替代空间巨大
中科飞测是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，成立以来专注于检测和量测两大 类 集 成 电 路 专 用 设 备 的 研发，产品线涵盖无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量测和套刻精度量测设备等。目前公司已有在研的量测检测设备共计可覆盖 50%以上的市场，对应100 亿元以上的国内需求，相关研发将进一步提高公司产品线覆盖的广度。
华安证券（600909）认为，在前道量测检测领域，公司业务规模高于其他国内厂商，技术研发均向2Xnm以下节点推进，处于国内领先地位。公司部分产品目前仍在客户验证阶段，随着研发和产品开发的不断完善，国产化趋势有望逐步放量。
华海清科(688120)
长期成长性被看好
华海清科CMP设备工艺在成熟制程领域覆盖度拓展至90%以上，2022年取得大批量重复大订单，市占率进一步提升，持续保持领先地位。公司积极开拓先进封装、大硅片、第三代半导体市场，先进封装和大硅片领域设备已批量交付客户，第三代半导体领域设备已取得批量订单。此外，公司研发的抛光+清洗全自动控制的CMP设备已在头部客户验证通过，该设备提升了第三代半导体衬底抛光水平和生产效率，减少了耗材用量。
中泰证券（600918）表示，公司目前处于战略发展初期，近年逐步布局减薄、清洗、量测等。上述设备对应中国大陆市场2021年空间合计近80亿美元，较同年中国大陆CMP市场7亿美元，增加近10倍，公司市场空间显著打开。公司拟股权激励绑定核心骨干，看好公司长期成长性。
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